产品描述
产品简介
EPOXYSCA® EB-3601(三甲基三乙烯基环三硅氮烷 CAS 5505-72-6)由广州依帕克斯材料技术有限责任公司面向全球市场供应,提供出口级包装与单证支持,英文 COA、MSDS 可随货提供,海运/空运均可安排(以货物危险特性与订舱要求为准)。EB-3601 的"环三硅氮烷"指由硅(Si)和氮(N)原子交替组成的六元环骨架,三个甲基(-CH₃)与三个乙烯基(-CH=CH₂)分别挂在三个硅原子上。国际客户可按整包装或样品规格下单,交期与物流方案以销售确认为准。

| 化学名称 | 三甲基三乙烯基环三硅氮烷(Trimethyltrivinylcyclotrisilazane,简称 VTMS) |
|---|---|
| CAS No. | 5505-72-6 |
| 分子式 / 分子量 | C₉H₂₁N₃Si₃ / 255.54 |
| 结构特点 | 硅氮交替六元环,每个硅带 1 个甲基与 1 个乙烯基 |
应用领域
- 陶瓷前驱体镀膜:作为环状硅氮烷前驱体,经热解或等离子体转化获得 SiCN/SiN 陶瓷膜层,用于光学与结构部件的陶瓷涂层。国际客户可按出口规格采购{model},英文资料随货提供。
- SiN/SiC 薄膜沉积:作为气相或溶液法沉积含硅薄膜的分子前驱体,用于半导体及微电子工艺。该应用的国际供应与单证支持,可与销售确认细节。
- 半导体等离子体工艺:官网注明可用作半导体工业中的等离子体腐蚀剂。国际客户可按出口规格采购{model},英文资料随货提供。
- 化工生产中间体:用于工业原材料生产,合成其他硅氮烷及有机硅材料。该应用的国际供应与单证支持,可与销售确认细节。
使用方法与工艺
推荐工艺方法(2种,英文 TDS 备索):溶液法镀膜:用甲苯等无水溶剂配成 0.5%~5% 的稀溶液,旋涂或浸渍成膜,在高纯氮气保护下于 300~800 ℃ 热解转化为陶瓷膜层;起步浓度建议从 1% 左右试起。 出口客户可索取英文版 TDS 与工艺说明。
气相沉积:以惰性载气鼓泡或汽化引入沉积腔,沉积温度与时间按膜层工艺设定;全程保持系统干燥,防止水汽进入。 出口客户可索取英文版 TDS 与工艺说明。
包装与储存
密封贮存于阴凉、通风、干燥处,防潮避光,远离水汽与酸碱;硅氮烷对水汽敏感,开封后建议充氮密封并尽快用完。标准包装:20KG 纸箱、25KG 塑料桶、200KG 铁桶或 IBC(按产品实际可选),可按客户要求提供其他规格。未开封常规有效期 12 个月。出口订单可按海运/空运要求安排包装与单证,具体以订舱确认为准。
国际供应常见问题
EB-3601 可以出口供应吗?支持哪些运输方式?
可以。广州依帕克斯EB-3601(硅氮烷 CAS 5505-72-6)面向全球供应,海运/空运均可安排,包装与单证按货物危险特性与目的港要求执行,具体以销售与订舱确认为准。
如何获取 EB-3601 的英文 TDS、MSDS 与 COA?
出厂 COA 随货提供(英文版可注明),英文 TDS/MSDS 可在询价时向销售索取;页面参数表与 COA 同口径,便于到货验收。
EB-3601 的国际起订量与交期如何?
支持样品规格与整包装两种起订方式,常规交期按订单确认;海运整柜/拼箱与空运均可安排,具体以订单与订舱确认为准。
EB-3601 的用途是什么?
EB-3601 的"环三硅氮烷"指由硅(Si)和氮(N)原子交替组成的六元环骨架,三个甲基(-CH₃)与三个乙烯基(-CH=CH₂)分别挂在三个硅原子上。陶瓷前驱体镀膜、SiN/SiC 薄膜沉积为主要应用方向,详细工艺与用量见页面说明,英文技术资料可向销售获取。
